中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國科學院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的國立中央研究院工程研究所，是我國最早的工學研究機構(gòu)之一。上海微系統(tǒng)所現(xiàn)有傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點實驗室/微系統(tǒng)技術(shù)重點實驗室、信息功能材料國家重點實驗室，有中科院太赫茲固態(tài)技術(shù)重點實驗室、中科院無線傳感網(wǎng)與通信重點實驗室以及中國科學院超導(dǎo)電子學卓越創(chuàng)新中心。設(shè)有傳感技術(shù)、信息功能材料、太赫茲固態(tài)技術(shù)、微系統(tǒng)技術(shù)實驗室、無線傳感網(wǎng)與通信實驗室、仿生智能微系統(tǒng)實驗室（籌）、超導(dǎo)中心等實驗室，并在上海、南京、杭州、無錫、嘉興、南通與地方合作共建了七個分支機構(gòu)，與德國亥姆霍茲國家研究中心于利希中心共建了超導(dǎo)與生物電子學聯(lián)合實驗室，與中國鐵路通信信號集團公司共建了軌道交通傳感與傳輸聯(lián)合實驗室，與吉林大學共建了地球物理探測技術(shù)聯(lián)合實驗室等。面向“十三五”，上海微系統(tǒng)所將按照“面向世界科技前沿、面向國家重大需求、面向國民經(jīng)濟主戰(zhàn)場”的新時期辦院方針，充分發(fā)揮電子科學與技術(shù)、信息與通信工程兩大學科優(yōu)勢，解決智能感知微系統(tǒng)、超導(dǎo)量子器件與電路、高端硅基材料等方向的重大關(guān)鍵科學和技術(shù)難題，實現(xiàn)創(chuàng)新跨越并推廣應(yīng)用，成為信息網(wǎng)絡(luò)/通信（ICT）領(lǐng)域不可替代、“四個一流”的國立研究機構(gòu)，為建設(shè)創(chuàng)新型國家和世界科技強國做出更大貢獻。