1、負(fù)責(zé)半導(dǎo)體運(yùn)控方案的綜合設(shè)計(jì);
2、高精度伺服調(diào)試,避免多軸耦合引起的振動,確保整機(jī)設(shè)備精度在1um以內(nèi);
3、抑制振動,通過分析與機(jī)械團(tuán)隊(duì)合作,優(yōu)化結(jié)構(gòu),提升精度;
4、設(shè)備的穩(wěn)定性提升,提升設(shè)備的長期穩(wěn)定性;
5、量產(chǎn)化推進(jìn),優(yōu)化調(diào)試流程,提升調(diào)試效率。
任職要求:
1、本科及以上學(xué)歷,電氣,自動化,控制,電機(jī)等相關(guān)理工科背景;
2、5年以上高精度設(shè)備(半導(dǎo)體/光刻設(shè)備優(yōu)先)伺服調(diào)試經(jīng)驗(yàn),主導(dǎo)過1μm系統(tǒng)精度的機(jī)械導(dǎo)軌式項(xiàng)目落地;
3、熟悉半導(dǎo)體負(fù)責(zé)工藝設(shè)備伺服難點(diǎn)(整定時間過長,重復(fù)精度超差,多軸耦合干擾等),精通伺服調(diào)試,熟練掌握常用控制系統(tǒng)分析調(diào)試軟件;;
4、有多軸控制系統(tǒng),前饋控制、高頻振動分析與抑制經(jīng)驗(yàn)。