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更新于 6月5日
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舉報(bào)

黃光工藝高級(jí)工程師（滁州）

1.5-2萬(wàn)·13薪
  • 滁州南譙區(qū)
  • 3-5年
  • 本科
  • 全職
  • 招1人

職位描述

光刻工藝曝光工藝MASK制造電子/半導(dǎo)體/集成電路
崗位職責(zé):
1、曝光工藝開(kāi)發(fā)與優(yōu)化：
    • 主導(dǎo)FMM黃光制程中的曝光工藝開(kāi)發(fā)、優(yōu)化與量產(chǎn)導(dǎo)入，聚焦接觸式/接近式曝光技術(shù)。
    • 精通曝光參數(shù)（能量、焦距、間隙Gap、對(duì)準(zhǔn)精度、照明均勻性等）對(duì)CD、CDU、OVL的影響機(jī)理，設(shè)計(jì)并執(zhí)行DOE實(shí)驗(yàn)進(jìn)行精細(xì)化調(diào)優(yōu)。
    • 優(yōu)化掩膜版（Reticle/Mask）管理及使用策略，減少因掩膜版導(dǎo)致的曝光缺陷和偏差。
    • 探索并評(píng)估新型曝光技術(shù)或方案在FMM應(yīng)用中的潛力。
    • 2、曝光設(shè)備工藝能力維護(hù)與提升：
    • 深入理解接觸式/接近式曝光機(jī)（如SUSS MA/BA系列、EVG或其他同類設(shè)備）的工作原理、構(gòu)造及性能極限。
    • 負(fù)責(zé)曝光設(shè)備的工藝能力（Cp/Cpk）評(píng)估、監(jiān)控（SPC）與持續(xù)提升。
    主導(dǎo)或深度參與曝光機(jī)的日常工藝維護(hù)、校準(zhǔn)（如光強(qiáng)均勻性校準(zhǔn)、焦距校準(zhǔn)、對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)校準(zhǔn)）及穩(wěn)定性驗(yàn)證。
    • 與設(shè)備工程師緊密合作，診斷并解決曝光設(shè)備硬件故障或性能下降對(duì)工藝造成的影響，提出有效的改善措施和預(yù)防性維護(hù)（PM）優(yōu)化建議。
3、曝光相關(guān)缺陷分析與良率提升：
    • 主導(dǎo)解決由曝光環(huán)節(jié)引起的各類缺陷和良率問(wèn)題（如：CD偏差過(guò)大、CDU不良、套刻不良、曝光不良（Underexposure/Overexposure）、圖形畸變、沾污、牛頓環(huán)等）。
    • 運(yùn)用8D、魚(yú)骨圖等工具進(jìn)行根本原因分析（RCA），制定并落實(shí)CAPA。
4、工藝整合與跨部門(mén)協(xié)作：
    • 與涂膠（Coating）、顯影（Development）等前/后道工藝工程師緊密協(xié)作，確保整個(gè)黃光制程的匹配性與穩(wěn)定性，特別關(guān)注膠厚均勻性、前烘/后烘條件對(duì)曝光效果的影響。
    • 與量測(cè)（Metrology）團(tuán)隊(duì)合作，優(yōu)化曝光關(guān)鍵參數(shù)的監(jiān)控方案（如在線/離線CD量測(cè)、OVL量測(cè)）。
    • 為新設(shè)備選型、驗(yàn)收提供工藝角度的專業(yè)評(píng)估和建議。
5、文檔、培訓(xùn)與新技術(shù)：
    • 建立、維護(hù)和更新曝光工藝的SOP、控制計(jì)劃及技術(shù)文檔。
    • 對(duì)生產(chǎn)和技術(shù)人員進(jìn)行曝光工藝原理、操作規(guī)范及問(wèn)題處理的基礎(chǔ)培訓(xùn)。
    • 跟蹤曝光技術(shù)領(lǐng)域的新發(fā)展（設(shè)備、材料、方法）。
6、完成領(lǐng)導(dǎo)交辦的其他相關(guān)工作事項(xiàng)。
任職要求 :
1、教育背景：
    • 本科及以上學(xué)歷，微電子、光學(xué)工程、物理、精密儀器、機(jī)械工程、材料科學(xué)與工程、自動(dòng)化等相關(guān)專業(yè)優(yōu)先。
2、工作經(jīng)驗(yàn)：
    • 5年及以上半導(dǎo)體、顯示面板（OLED FMM 經(jīng)驗(yàn)尤佳）、MEMS或高精度光刻行業(yè)的黃光/光刻工藝經(jīng)驗(yàn)。
    • 必須具備3年以上深度接觸/接近式曝光工藝開(kāi)發(fā)、優(yōu)化及設(shè)備維護(hù)的實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)。 有FMM行業(yè)曝光經(jīng)驗(yàn)者高度優(yōu)先。
    • 有主導(dǎo)或深度參與曝光相關(guān)良率提升項(xiàng)目的成功案例。
3、核心技能 (曝光重點(diǎn))：
    • 精通曝光原理與技術(shù)： 深刻理解接觸式/接近式曝光的光學(xué)原理（柯勒照明、部分相干性、衍射效應(yīng)等）、成像機(jī)理及其在FMM圖形化中的應(yīng)用。
    • 曝光設(shè)備專家級(jí)能力：
      • 熟練掌握主流接觸式/接近式曝光機(jī)（如SUSS MA/BA, EVG等）的操作、日常工藝維護(hù)、校準(zhǔn)（光強(qiáng)、焦距、對(duì)準(zhǔn)）及故障排查。
      • 深入理解設(shè)備關(guān)鍵模塊（光源系統(tǒng)、對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、聚焦系統(tǒng)、掩膜臺(tái)/晶圓臺(tái)、控制系統(tǒng)）及其對(duì)工藝的影響。
      • 具備基礎(chǔ)的設(shè)備硬件知識(shí)，能與設(shè)備工程師有效溝通。
    • 參數(shù)優(yōu)化與數(shù)據(jù)分析： 精通曝光參數(shù)（Energy, Focus, Gap等）優(yōu)化方法；熟練運(yùn)用DOE、SPC、FMEA等工具進(jìn)行數(shù)據(jù)分析和工藝控制。
    • 精密量測(cè)與缺陷分析： 熟悉CD-SEM、OVL量測(cè)設(shè)備、顯微鏡等在曝光工藝評(píng)估中的應(yīng)用；具備較強(qiáng)的缺陷識(shí)別和根源分析能力。
    • 掩膜版知識(shí)： 了解掩膜版制作、使用、維護(hù)及其對(duì)曝光質(zhì)量的影響。
4、軟技能：
    • 出色的分析問(wèn)題、解決問(wèn)題能力和嚴(yán)謹(jǐn)?shù)倪壿嬎季S。
    • 優(yōu)秀的溝通協(xié)調(diào)能力、團(tuán)隊(duì)合作精神和責(zé)任心。
    • 積極主動(dòng)，能承受壓力，具備良好的動(dòng)手能力和現(xiàn)場(chǎng)快速響應(yīng)能力。
5、語(yǔ)言能力：
    • 流利中文。
    • 能閱讀英文設(shè)備手冊(cè)、技術(shù)資料。
6、身體健康，無(wú)犯罪記錄。
優(yōu)先考慮條件
  • OLED FMM行業(yè)曝光工藝經(jīng)驗(yàn)。
  • 擁有特定品牌曝光機(jī)（如SUSS, EVG）的深度操作、維護(hù)或工藝支持經(jīng)驗(yàn)。
  • 熟悉激光干涉儀等精密測(cè)量?jī)x器在曝光機(jī)校準(zhǔn)中的應(yīng)用。
  • 了解光刻膠特性及其與曝光工藝的交互作用。
  • 有曝光設(shè)備供應(yīng)商技術(shù)支持或設(shè)備工程師背景者。
  • 熟悉AutoCAD或相關(guān)繪圖軟件用于簡(jiǎn)單版圖查看或問(wèn)題分析。

工作地點(diǎn)

南譙區(qū)拓維光電材料(滁州)有限公司

職位發(fā)布者

張雨/人事

當(dāng)前在線
立即溝通
成都拓維高科光電科技有限公司
成都拓維成立于2017年，翰博高新全資子公司，為客戶提供OLED Mask服務(wù)，實(shí)現(xiàn)國(guó)內(nèi)現(xiàn)地配套，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈空白。一期清洗業(yè)務(wù)提供精密再生服務(wù)，一期CMM制造業(yè)務(wù)提供CMM制造服務(wù)，二期規(guī)劃FMM制造業(yè)務(wù)和CMM擴(kuò)產(chǎn)，以及G8.6代線OLED用金屬掩膜研發(fā)制造和清洗業(yè)務(wù)。OLED Mask精密再生是首個(gè)翰博集團(tuán)戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型半導(dǎo)體顯示材料的項(xiàng)目。翰博?新為深交所創(chuàng)業(yè)板上市企業(yè)，自2009年誕生便始終專注于半導(dǎo)體顯示科技，致力于為半導(dǎo)體顯示行業(yè)提供系統(tǒng)解決方案，是一家集顯示設(shè)計(jì)、光學(xué)開(kāi)發(fā)、半導(dǎo)體顯示材料、智能制造、供應(yīng)鏈整合于一身的系統(tǒng)方案供應(yīng)商；擁有合肥、滁州、重慶、成都、廣州五大制造基地；翰博高新歷經(jīng)數(shù)年穩(wěn)健發(fā)展，擁有導(dǎo)光板和RTP等重要技術(shù)工藝，現(xiàn)已研發(fā)設(shè)計(jì)出光模組、偏光片、光學(xué)膜材等多款產(chǎn)品，被廣泛應(yīng)用于通訊、汽車、影音、電腦等領(lǐng)域的半導(dǎo)體顯示終端，擁有強(qiáng)大的自主技術(shù)研發(fā)能力，為人們的工作與生活帶來(lái)完美的視覺(jué)享受。拓維光電材料（滁州）有限公司是成都拓維全資子公司，成立于2022年5月，是一家專注于OLED顯示關(guān)鍵原材FMM（精密金屬掩膜版）研發(fā)與制造并提供Mask解決方案的高新科技企業(yè)。公司以成為行業(yè)首選合作伙伴為愿景，以產(chǎn)業(yè)報(bào)國(guó)、科技創(chuàng)新為使命，致力于打破國(guó)外技術(shù)壟斷，實(shí)現(xiàn)FMM國(guó)產(chǎn)化，成為行業(yè)領(lǐng)先者。
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