崗位職責(zé)
1、工藝維護(hù)與監(jiān)控:
(1)負(fù)責(zé)日常光刻和顯影工藝的在線(xiàn)監(jiān)控,包括光刻膠涂布、軟烘、對(duì)準(zhǔn)、曝光、曝光后烘烤(PEB)、顯影和硬烘等各個(gè)環(huán)節(jié)的穩(wěn)定性。
(2)分析并處理日常工藝異常,快速識(shí)別缺陷根源(如缺陷、CD偏差、套刻誤差等),并實(shí)施糾正措施,確保生產(chǎn)線(xiàn)持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。
(3)負(fù)責(zé)光刻膠、顯影液等關(guān)鍵耗材的評(píng)估、導(dǎo)入和管理。
2、工藝開(kāi)發(fā)與優(yōu)化:
(1)參與新工藝、新材料的開(kāi)發(fā)與導(dǎo)入(NPI),通過(guò)實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)優(yōu)化工藝參數(shù),以達(dá)成關(guān)鍵性能指標(biāo)(KPIs),如關(guān)鍵尺寸、均勻性、套刻精度、缺陷率等。
(2) 開(kāi)發(fā)和優(yōu)化先進(jìn)的光刻技術(shù),以支持新工藝、新樣品的研發(fā)和量產(chǎn)
3、設(shè)備協(xié)同與維護(hù):
(1)光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)日常點(diǎn)檢、故障排查和性能驗(yàn)證
(2)主導(dǎo)或參與設(shè)備裝機(jī)、調(diào)試和工藝驗(yàn)收工作。
4、數(shù)據(jù)分析與良率提升:
(1) 運(yùn)用統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制(SPC)工具監(jiān)控工藝穩(wěn)定性,對(duì)工藝數(shù)據(jù)(CD, Overlay, Defect等)進(jìn)行深度分析,撰寫(xiě)異常報(bào)告和技術(shù)分析報(bào)告。
(2)與內(nèi)外部資源共同分析和解決與光刻/顯影相關(guān)的良率問(wèn)題,推動(dòng)CIP項(xiàng)目
5、標(biāo)準(zhǔn)化與文檔化:
(1)編寫(xiě)和更新標(biāo)準(zhǔn)操作程序、工藝規(guī)格文件和設(shè)備操作指導(dǎo)書(shū)。
(2)負(fù)責(zé)工藝知識(shí)的積累、傳承和團(tuán)隊(duì)培訓(xùn)。
任職要求
1、本科及以上學(xué)歷,微電子、電子工程、材料科學(xué)與工程、物理、化學(xué)化工等相關(guān)專(zhuān)業(yè)。
2、3年以上相關(guān)行業(yè)的光刻工藝相關(guān)經(jīng)驗(yàn),熟悉完整的晶圓光刻、顯影工藝流程。
3、深刻理解光刻和顯影的物理化學(xué)原理,包括光刻膠特性、光學(xué)成像理論、顯影動(dòng)力學(xué)等。
4、熟悉光刻機(jī)和涂膠顯影機(jī)的操作和基本原理,并熟練使用相關(guān)的量測(cè)設(shè)備。
5、數(shù)據(jù)分析能力優(yōu)秀,熟練使用辦公軟件和數(shù)據(jù)分析軟件(如JMP, MATLAB, SQL等)進(jìn)行SPC和DOE分析。
6、責(zé)任心強(qiáng)、問(wèn)題分析和解決能力突出,能承受一定工作壓力。
7、加分項(xiàng):有量產(chǎn)線(xiàn)經(jīng)驗(yàn)者優(yōu)先,具備處理線(xiàn)上異常和提升良率的實(shí)戰(zhàn)能力;有半導(dǎo)體Fab光刻機(jī)操作經(jīng)驗(yàn);具備一定的英語(yǔ)讀寫(xiě)能力,能夠閱讀和理解英文技術(shù)文檔;熟悉SPC、FMEA、8D等質(zhì)量管理工具和方法。