無(wú)錫唯睿半導(dǎo)體裝備與零部件有限公司（無(wú)錫半導(dǎo)體裝備與關(guān)鍵零部件創(chuàng)新中心）：以“一個(gè)創(chuàng)新中心、一個(gè)專業(yè)園區(qū)、一支股權(quán)投資基金”的閉環(huán)發(fā)展模式，針對(duì)卡脖子的半導(dǎo)體裝備和零部件產(chǎn)品進(jìn)行自主研發(fā)和項(xiàng)目引入，加速半導(dǎo)體裝備和零部件的研發(fā)攻關(guān)和國(guó)產(chǎn)化。系統(tǒng)性打造從技術(shù)預(yù)研到商業(yè)化落地的“0-1-10-100”全生命周期創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)生態(tài)，為研發(fā)和引入項(xiàng)目提供精準(zhǔn)匹配的服務(wù)支持。創(chuàng)新中心自2025年4月啟用以來(lái)已引8個(gè)高端半導(dǎo)體裝備和零部件項(xiàng)目，包括遠(yuǎn)程等離子源（RPS）、高純氟材料管閥、半導(dǎo)體設(shè)備電源、超聲波流量計(jì)、快速熱處理系統(tǒng)（RTP）以及殘余氣體分析儀（RGA）等半導(dǎo)體裝備和零部件產(chǎn)品，均具備自主研發(fā)能力以及產(chǎn)品迭代能力，部分產(chǎn)品已經(jīng)進(jìn)入國(guó)內(nèi)知名晶圓廠測(cè)試驗(yàn)證并獲得訂單。