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崗位職責(zé)：
1. 深刻理解真空系統(tǒng)原理，熟悉低真空、高真空、超高真空系統(tǒng)。
2. 掌握分子泵、干泵/羅茨泵、真空計、閥門等真空組件的結(jié)構(gòu)和工作原理。
3. 能獨立完成分子泵的拆裝、清洗、保養(yǎng)和更換軸承等核心維護(hù)工作。
4. 熟悉氦質(zhì)譜檢漏儀的使用，具備強(qiáng)大的真空系統(tǒng)檢漏能力。
崗位要求：
1. 有Edwards、Pfeiffer Vacuum、Ebara等品牌分子泵維修經(jīng)驗者優(yōu)先。
2. 有半導(dǎo)體工藝腔體（如PVD, CVD, Etch）真空系統(tǒng)維護(hù)經(jīng)驗者極具優(yōu)勢。