盛美成立于2005年，是注冊于上海浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)的外資企業(yè)，已于2017年正式登陸美國納斯達克。盛美集研發(fā)、設計、制造、銷售于一體。由王暉博士帶領的團隊開發(fā)出了具有世界領先的全球專利保護的單片SAPS，TEBO兆聲波技術，高溫硫酸清洗技術，以及電鍍銅，電拋光技術。王暉博士畢業(yè)于清華大學精密儀器系，獲得日本大阪大學精密工學科博士學位，并作為海外高層次歸國創(chuàng)業(yè)人才入選了國家“千人計劃”。盛美主要產品有兆聲波單片清洗設備，TEBO，背面清洗設備，無應力拋銅設備，TSV深孔清洗設備，干法刻蝕設備，涂膠機，顯影機，去膠機，腐蝕機，薄片清洗機，高溫硫酸清洗設備，Ultra C Tahoe等。公司具有高新技術企業(yè)資質，承擔十一五國家科技重大專項和十二五國家科技重大專項的研發(fā)。盛美是國內單片清洗設備的最大供應商，現(xiàn)有8，600平米的制造車間，產能50臺各種設備/年，可擴張至100臺/年。去年實現(xiàn)銷售2.4億元，今年預計有望實現(xiàn)銷售成長90%，創(chuàng)歷史新高。