崗位職責(zé):
1、制定并執(zhí)行CMP設(shè)備的預(yù)防性維護(hù)(PM)計(jì)劃
2、完成日常點(diǎn)檢、定期保養(yǎng)、耗材更換(拋光墊、研磨頭薄膜、保持環(huán)、噴嘴、過濾器、傳感器、管路等)。
3、確保設(shè)備各項(xiàng)參數(shù)(壓力、轉(zhuǎn)速、流量、溫度)符合工藝規(guī)格,維持設(shè)備潔凈度
4、快速響應(yīng)設(shè)備宕機(jī)(Down)或報(bào)警(Alarm),進(jìn)行高效精準(zhǔn)的故障定位
5、與工藝工程師緊密協(xié)作,理解工藝需求
6、領(lǐng)導(dǎo)安排的其他事宜
崗位要求:
1、大專及以上學(xué)歷,3年以上半導(dǎo)體Fab CMP設(shè)備維護(hù)工程師實(shí)際經(jīng)驗(yàn)
2、熟練運(yùn)用邏輯樹分析、儀器(萬用表、示波器)和診斷軟件,快速定位復(fù)雜機(jī)電一體化系統(tǒng)故3、 能讀懂機(jī)械圖紙、氣路圖、電路圖,進(jìn)行精密機(jī)械拆裝、部件更換和基本電路檢修。