1、工藝維護(hù)與優(yōu)化?
負(fù)責(zé)光刻工藝的日常監(jiān)控與異常處理,確保產(chǎn)品良率及產(chǎn)能穩(wěn)定12;
通過(guò)SPC(統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制)管理工藝穩(wěn)定性,改進(jìn)工藝條件以減少缺陷和返工;
優(yōu)化光刻膠涂布、曝光、顯影等關(guān)鍵步驟,提升工藝窗口并降低生產(chǎn)成本。
?2、新工藝與設(shè)備開(kāi)發(fā)?
主導(dǎo)新機(jī)臺(tái)(如Nikon、佳能光刻機(jī))的調(diào)試、驗(yàn)收及工藝參數(shù)設(shè)定;
驗(yàn)證新材料(如光刻膠)及新工藝的可行性,完成量產(chǎn)導(dǎo)入;
設(shè)計(jì)掩膜版并管理其質(zhì)量,確保圖形尺寸精確且無(wú)畸變。
?3、跨部門協(xié)作與技術(shù)支持?
協(xié)同制造部解決生產(chǎn)異常,培訓(xùn)操作員技能及標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)流程(SOP);
配合產(chǎn)品整合(PIE)、良率(YE)部門分析缺陷根源,提升整體良率;
支持新產(chǎn)品試產(chǎn)評(píng)估,制定光刻段工藝參數(shù)并管控風(fēng)險(xiǎn)
?1、學(xué)歷與專業(yè)?
本科及以上學(xué)歷,微電子、材料科學(xué)、物理、化學(xué)或自動(dòng)化等相關(guān)專業(yè)。
?2、經(jīng)驗(yàn)與技能?
熟悉光刻機(jī)(如Nikon Stepper、TEL軌道機(jī))操作原理及維護(hù)58;
掌握SPC、FMEA(失效模式分析)等工藝管控工具;
具備半導(dǎo)體Fab廠光刻工藝2年以上經(jīng)驗(yàn),高級(jí)崗位需4年+經(jīng)驗(yàn)。
?3、核心能力?
能獨(dú)立處理機(jī)臺(tái)異常和工藝缺陷分析;
具備DOE(實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì))能力,通過(guò)數(shù)據(jù)優(yōu)化工藝參數(shù);
適應(yīng)無(wú)塵室工作環(huán)境及輪班/緊急支持(On-call)制度